定性位置:應力測量范圍 560nm(一級干涉色)以下 全波片光程差 :560nm 檢偏鏡通光口徑:φ150mm 臺面玻璃通光口徑: φ220mm 可測量樣品最大高度:250mm 應力測量范圍:280nm(一級干涉色)以下 分辨率 :0.2nm
應力測定范圍::≤560nm 全波片光程差::560nm 檢偏鏡通光口徑::φ150mm 臺面玻璃通光口徑::φ220mm