定性位置:應(yīng)力測(cè)量范圍 560nm(一級(jí)干涉色)以下 全波片光程差 :560nm 檢偏鏡通光口徑:φ150mm 臺(tái)面玻璃通光口徑: φ220mm 可測(cè)量樣品最大高度:250mm 應(yīng)力測(cè)量范圍:280nm(一級(jí)干涉色)以下 分辨率 :0.2nm
應(yīng)力測(cè)定范圍::≤560nm 全波片光程差::560nm 檢偏鏡通光口徑::φ150mm 臺(tái)面玻璃通光口徑::φ220mm